Каталог вакуумного оборудования
Широкодиапазонный вакуумметр Pfeiffer Vacuum DigiLine HPT 200 — высокоточный комбинированный датчик давления, объединяющий сенсор Пирани и ионизационный датчик Байарда–Альперта с горячим катодом. Такое решение обеспечивает надежное измерение давления в сверхшироком диапазоне — от ультравысокого вакуума до атмосферного давления.
Датчик HPT 200 применяется в научных исследованиях, вакуумных установках, производстве полупроводников и других высокотехнологичных процессах, где требуется высокая точность и стабильность измерений.
Технические характеристики:
| Принцип измерения | Пирани / Байард–Альперт (горячий катод) |
| Диапазон измерения | 0,0000000005 – 1000 мбар |
| Максимальное давление | 4000 мбар |
| Точность | 1×10⁻⁸ – 1 мбар: ±10 % 20 – 1000 мбар: ±30 % |
| Повторяемость | 1×10⁻⁸ – 1×10⁻² мбар: ±5 % 1×10⁻² – 10 мбар: ±2 % |
| Катод (нить) | Иридий/иттрий (двойной) |
| Количество нитей | 2 |
| Материалы, контактирующие со средой | Вольфрам, нержавеющая сталь, никель, стекло, керамика |
| Фланцы | DN 25 ISO-KF, DN 40 ISO-KF, DN 40 CF-F |
| Степень защиты | IP54 |
| Температура прогрева (bakeout) | до 180 °C |
| Температура эксплуатации | +5…+60 °C |
| Температура хранения | −40…+65 °C |
| Напряжение питания | 24 V DC |
| Потребляемая мощность | 9 W |
| Интерфейсы | RS-485, analog 0–10 V, Profibus DP, EtherCAT, Profinet |
| Измерительный цикл | 10 мс |
| Макс. длина кабеля | 100 м |
| Вес | 475 г (ISO-KF), 670 г (CF-F) |
8-800-200-24-80
